傳感�

壓力傳感器采用自主研�(fā)的技�(shù),使用獨特的加工技�(shù)�SOI晶圓表面�250nm厚可加工材料層上制作出孤立的���狀硅敏感電阻陣�,用絕緣膜電隔離技�(shù)替代了傳�(tǒng)�PN�(jié)電隔離技�(shù),由�SOI芯片避免�PN隔離問題,相比于常規(guī)的擴散硅壓力傳感�,具有更好的�(wěn)定性,可以實現(xiàn)更高溫度下的壓力測量� 這是SOI壓力傳感器的核心�(yōu)勢所�� 在封裝結(jié)�(gòu)方面采用小體積充油式耐高溫高壓結(jié)�(gòu),充以特殊的保護�,并進行高寬溫區(qū)的老化和補�?shù)?,環(huán)境適用性強、可靠性高、穩(wěn)定性好,從而保證了本產(chǎn)品的高性能� 這種�(jié)�(gòu)國內(nèi)還沒有其他單位采用,因此具極高的競爭�(yōu)�� 本產(chǎn)品國�(nèi)首創(chuàng),填補國�(nèi)空白,不存在同類�(chǎn)品競爭問�� 國內(nèi)從事SOI壓力敏感器件研究單位基本沒有實用的、可以批量生�(chǎn)的產(chǎn)�。建于我院的�傳感器國家工程研究中��,確立了我院壓力傳感器在國內(nèi)的行�(yè)主導地位。目前同�SOI高溫系列壓力傳感器在武器和特種環(huán)境工�(yè)過程控制�(lǐng)域得以廣泛應(yīng)用。產(chǎn)品填補國�(nèi)空白� 與國外同類產(chǎn)品相�,該�(chǎn)品具有更高的性價比、靈活的配套形式及我們優(yōu)�(zhì)的服�(wù)� 硅電容壓力傳感器 
硅電容差壓傳感器采用硅電容差壓敏感芯片作為傳感元件,采用微機械加工技�(shù)自主�(shè)計制�,層迭對稱結(jié)�(gòu),采用差動電容原理檢測壓力信�,具有全固態(tài),高精度,高可靠�,高�(wěn)定�,溫度范圍寬,溫�、靜壓影響小,單向過載特性優(yōu)�,易于后部數(shù)字化處理等特點�
它采用全不銹鋼殼��隔離� 片封�、標準差壓容室接�??捎糜跍y量液�、氣體的差壓、流量等參數(shù),可作為過程控制�(lǐng)域用差壓變送器的核心部件。廣泛應(yīng)用于石油、化�、電力、冶金、輕�、食�、環(huán)�、鍋爐控�、帶壓容器測量等�
�(fù)合壓力傳感器

硅壓阻復(fù)合壓力傳感器采用硅集成壓阻芯片作為傳感元�,采用微機械加工技�(shù)自主�(shè)計制�,能夠同時實�(xiàn)對現(xiàn)場中的差壓、靜�、溫度等參數(shù)進行測量,具有精度高、體積小、重量輕、穩(wěn)定性好等特�。采用四膜片靜壓和過載保護結(jié)�(gòu),全不銹鋼殼�,隔離膜片封裝及標準差壓容室接口,可用來測量差壓、靜�、流�、液位、溫度等參數(shù),廣泛應(yīng)用于石油、化工、電�、造紙等工�(yè)�(lǐng)域的測量與過程控��
更多�(chǎn)品信息請訪問�力敏傳感器中�


